Ziel des Seminars ist, vertiefende Kenntnisse über die Grundlagen der Herstellung moderner Mikrochips vom Silizium-Wafer über Maskenprozesse, Chipgehäuse und Testmethoden zu vermitteln. Im Detail und praxisnah werden dabei die Komponenten und die dazugehörigen Verfahrensschritte dargestellt. Neben der Vermittlung von theoretischem Wissen wird anhand von Beispielen der Praxisbezug hergestellt. Bei Bedarf wird auf spezifische Fragestellungen eingegangen.

Inhalt des Seminars:
> Mikroelektronik verändert die Welt
> vom elektronischen System zur Siliziumstruktur
> Lithographie
> Wafer-Prozesse
> CMOS-Gesamtprozess
> Packaging
> Test mikroelektronischer Schaltungen
> Qualität und Zuverlässigkeit
> Zertifikatsklausur

Referenten:
Dr. W. Appel
Institut für Mikroelektronik Stuttgart
Prof. Dr.-Ing. J. Burghartz
Institut für Mikroelektronik Stuttgart
Dipl.-Phys. H.-G. Graf
Institut für Mikroelektronik, Stuttgart
Dr. M. Irmscher
Institut für Mikroelektronik Stuttgart
Dipl.-Ing. W. Klingler
Institut für Mikroelektronik Stuttgart
Dipl.-Ing. P. Koroknay
Institut für Mikroelektronik Stuttgart
Dr. H. Richter
Institut für Mikroelektronik Stuttgart

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