Rasterelektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse

Arbeitsverfahren und Einsatzmöglichkeiten

In Zusammenarbeit mit dem Institut für Werkstofftechnologie AG (IWT), der Materialprüfungsanstalt (MPA) Universität Stuttgart und dem VDE-Bezirksverein Württemberg e.V. (VDE)

Auf einen Blick

4 Tages-Seminar
15.10.2018 - 18.10.2018
8:30 Uhr
in Ostfildern

Technische Akademie Esslingen
An der Akademie 5
73760 Ostfildern

EUR 1.850,00(MwSt.-frei)

Veranstaltung Nr. 32202.00.017


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Referenten:
Dr. W. Bröcker
Meckenheim
Ing. B. E. Heneka
RJL Micro & Analytic GmbH, Angewandte Elektronenmikroskopie, und Analytik, Karlsdorf-Neuthard
Dipl.-Ing. D. Kuppler
Esslingen
Dr. rer. nat. H. Ruoff
Waldstetten
J. Schliessus
Maichingen
Priv.-Doz. Dr. rer. nat P. F. Schmidt
Westfälische Wilhelms-Universität Münster
Dr.-Ing. M. Speicher
Materialprüfungsanstalt (MPA), Universität Stuttgart
Dipl.-Ing. D. Willer
Materialprüfungsanstalt (MPA), Universität Stuttgart
M. Zgraggen
Institut für Werkstofftechnologie AG, Wallisellen (Schweiz)

Beschreibung


Das Rasterelektronenmikroskop erweist sich als vielseitiges Gerät für die morphologische und analytische Untersuchung von Oberflächen. Lernen Sie die Leistungsfähigkeit und die Einsatzmöglichkeiten der modernen Rasterelektronenmikroskopie (REM) bei der Abbildung von Oberflächen und in der Mikrobereichsanalyse kennen.

Inhalt des Seminars:
> Einführung in die Rasterelektronenmikroskopie
> Aufbau eines Rasterelektronenmikroskops
> Signale und Kontrastarten in der Rasterelektronenmikroskopie
> Detektorstrategien
> Vergleich verschiedener elektronenstrahlerzeugender Systeme
> Präparation - Überblick über die Präparation von Proben
> Abbildung von Oberflächen und Vermeidung von Abbildungsartefakten
> Röntgenmikroanalyse im Rasterelektronenmikroskop
> Einführung in die EBSD
> Methoden zur Partikelanalyse
> Elektronenmikroskopie an der Materialprüfungsanstalt Universität Stuttgart (MPA)
> Niedervakuum-Rasterelektronenmikroskopie: REM bei einem Probenkammervakuum bis zu 3000 Pascal
> Kathodolumineszenz
> alternative Rastermethoden
> Beurteilung von Schäden an metallischen und nichtmetallischen Werkstoffen mit der Rasterelektronenmikroskopie
> Beschichtung elektrisch nicht leitender Proben

Sie erhalten Qualität
Das Qualitätsmanagementsystem der Technischen Akademie Esslingen
ist nach DIN EN ISO 9001 und AZAV zertifiziert.

Seminarthemen im Überblick

Stand der letzten Durchführung:

Montag, 16. Oktober 2017
8.30 bis 12.30 und 14.00 bis 17.00 Uhr

1. Einführung in die Rasterelektronenmikroskopie (P. F. Schmidt)
> Einführung in die Rasterelektronenmikroskopie (REM)
> Vergleich von Lichtmikroskopie und REM
> Auflösungsvermögen und Auflösungsgrenze
> Signale und Kontrastarten in der REM
> Mikrobereichsanalyse EDS/WDS

2. Aufbau eines Rasterelektronenmikroskops (P. F. Schmidt)

3. Signale und Kontrastarten in der Rasterelektronenmikroskopie (P. F. Schmidt)
> Wechselwirkungsprozesse zwischen Elektronenstrahl und Probe
> Sekundärelektronen (SE): Topographiekontrast, Potenzialkontrast, Magnetkontrast Typ I;
> Absorbierte Elektronen;
> Rückstreuelektronen (RE): Topographiekontrast, Materialkontrast, Kristallorientierungskontrast (Channelling-Kontrast), EBSD = Electron Backscatter Diffraction, Magnetkontrast Typ II
> Kathodolumineszenz
> Röntgenstrahlung

4. Detektorstrategien (P. F. Schmidt)
> optimale Nutzung von Sekundärelektronen (SE), Rückstreuelektronen (RE) und transmittierten Elektronen (TE)
> Bildbeispiele;
> REM bei tiefen Temperaturen

5. Vergleich verschiedener elektronenstrahlerzeugender Systeme (P. F. Schmidt)
> Vergleich verschiedener Kathodensysteme: W-Haarnadel-, LaB6-, CeB6-Kathode
> Schottky- und kalte Feldemissionskathode
> Semi in-lens SEM
> In-lens SEM
> Hochauflösung
> Abbildung mit niedrigen Beschleunigungsspannungen (Low Voltage SEM)

6. Präparation – Überblick über die Präparation von Proben (P. F. Schmidt)

Dienstag, 17. Oktober 2017
8.30 bis 12.30 und 14.00 bis 17.00 Uhr

7. Abbildung von Oberflächen und Vermeidung von Abbildungsartefakten (P. F. Schmidt)
> Parameter, die die Qualität der REM-Abbildung beeinflussen: Strahldurchmesser
> Signal/Rausch-Verhältnis
> Linsenfehler
> Schärfentiefe
> Beschleunigungsspannung
> Aufladungen
> Kontamination
> Aufnahmeartefakte
> Bilddeutung

8. Röntgenmikroanalyse im Rasterelektronenmikroskop (H. Ruoff)
> Wechselwirkung von Elektronenstrahlen mit Materie
> Entstehung von Röntgenstrahlen
> Energie der Röntgenstrahlen und Röntgenspektrum
> Röntgendetektoren und Röntgenspektrometer
> Energiedispersive Röntgenmikroanalyse (EDX)
> Wellenlängendispersive Röntgenmikroanalyse (WDX)
> Quantitative Analyse
> Elementverteilungsbilder (Mapping)
> Probenpräparation und Anwendungsbeispiele

9. Einführung in die EBSD (H. Ruoff)
> Elektronenbeugung
> EBSD-Messprinzip
> Kristallorientierung
> Textur
> Experimentelle Parameter
> Probenvorbereitung Anwendungsbeispiele

10. Methoden zur Partikelanalyse (B. Heneka)
> Überblick über gängige Methoden zur automatischen Partikelanalyse mit Schwerpunkt auf die automatische Partikelanalyse mit dem REM und EDS

11. Elektronenmikroskopie an der Materialprüfungsanstalt Universität Stuttgart (MPA) (S. Dugan)
> Konventionelle Rasterelektronenmikroskopie
> Hochauflösendes Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop in Kombination mit fokussiertem Ionenstrahl
> Niedervakuum-Rasterelektronenmikroskopie
> Elektronenstrahlmikrosonde
> Analytische Transmissionselektronenmikroskopie
> Probenpräparation: Replika und dünne Folien

12. Niedervakuum-Rasterelektronenmikroskopie: REM bei einem Probenkammervakuum bis zu 3000 Pascal (P. F. Schmidt)
> Geräteaufbau
> Signaldetektion
> Kontraste in der NV-REM
> Anwendungen

Mittwoch, 18. Oktober 2017
9.00 bis 17.00 Uhr – Pfaffenwaldring 32, Stuttgart

Demonstrationen und Übungen an der Materialprüfungsanstalt (MPA), Universität Stuttgart (D. Kuppler, J. Schliessus, D. Willer)

Donnerstag, 19. Oktober 2017
8.30 bis 12.30 und 14.00 bis 17.00 Uhr

13. Kathodolumineszenz (W. Bröcker)
> Entstehungsprozesse
> Detektorsysteme
> Anwendungsbeispiele
> Kombination und Vergleich der Kathodolumineszenz mit anderen abbildenden und analytischen Verfahren

14. Alternative Rastermethoden (W. Bröcker)
> Laser-Scan-Mikroskop
> akustisches Rastermikroskop
> Raster-Tunnel-Mikroskop
> Grundlagen
> Funktionsprinzip
> Anwendungsbeispiele

15. Beurteilung von Schäden an metallischen und nichtmetallischen Werkstoffen mit der Rasterelektronenmikroskopie (M. Zgraggen)
Metallische Werkstoffe:
> Beurteilung des Bruchbereichs: Bruchlage und Bruchtopographie, Zuordnung zur bruchauslösenden Belastungsart
> Bestimmung des Bruchausganges, Reibverschleiß, Reiboxidation und Korrosion
> mikroskopische Beurteilung der Bruchtopographie
> Schäden an Drahtseilen, Flugzeugkomponenten
> Schäden infolge Wasserstoffversprödung
Polymerwerkstoffe:
> Werkstofffehler, Verschleiß, UV-Strahlung, Bewitterung
> Brüche: Crazes, Gewaltbruch, Schwingbruch, Spannungsrisskorrosion
Keramiken:
> Herstellungsfehler
> Brüche: mikroskopische Beurteilung von Bruchflächen, Korrosionseinfluss, Verknüpfung von mikroskopischen und makroskopischen Befunden

16. Beschichtung elektrisch nicht leitender Proben (P. F. Schmidt)
> Sputter- und Bedampfungsverfahren

17. Allgemeine Fragen zur Rasterelektronenmikroskopie und Analytik (P. F. Schmidt)
> Vorgehensweise bei Untersuchungen mit REM und EDS

Referenten

Leitung:
Priv.-Doz. Dr. rer. nat P. F. Schmidt

Referenten:
Dr. Werner Bröcker
Meckenheim
Ing. Bernhard E. Heneka
RJL Micro & Analytic GmbH, Angewandte Elektronenmikroskopie, und Analytik, Karlsdorf-Neuthard
Dipl.-Ing. Dorothee Kuppler
Materialprüfungsanstalt (MPA), Universität Stuttgart
Dr. rer. nat. Herbert Ruoff
Waldstetten
Joachim Schliessus
Materialprüfungsanstalt (MPA), Universität Stuttgart
Priv.-Doz. Dr. rer. nat P. F. Schmidt
c/o Westfälische Wilhelms-Universität Münster
Dr.-Ing. Magdalena Speicher
Materialprüfungsanstalt (MPA), Universität Stuttgart
Dipl.-Ing. Dieter Willer
Materialprüfungsanstalt (MPA), Universität Stuttgart
Markus Zgraggen
Institut für Werkstofftechnologie AG, Wallisellen (Schweiz),

Termine & Preise

Extras
Die Seminarteilnahme beinhaltet Verpflegung und ausführliche Seminarunterlagen.

Kosten
Die Kosten betragen pro Teilnehmer EUR 1.850,00(MwSt.-frei), inklusive aller Extras.

Die nächsten Termine

Datum / Uhrzeit Seminartitel Ort Preis
15.10.2018, 8:30 Uhr Rasterelektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse Ostfildern$$ortdetail$$ EUR 1.850,00

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