Mikroelektronik-Technologieseminar
Halbleiter-Chips – Entwurf, Herstellung, Test, Technologien
Mikroelektronik-Technologieseminar
Prof. Dr. Jens Anders
IMS Institut für Mikroelektronik Stuttgart
Kaum eine andere Technologie beeinflusst unser Leben so wie die einem ständigen Wandel unterzogene Mikroelektronik. Die Chips werden immer kleiner und leistungsfähiger, die Herstellungsmethoden verändern und verfeinern sich kontinuierlich.
Ziel der Weiterbildung
Der Lehrgang vermittelt vertiefende Kenntnisse über die Grundlagen der Herstellung moderner Mikrochips vom Silizium-Wafer über Maskenprozesse, Schaltungsentwicklung, Chipaufbautechnik und Testmethoden. Im Detail und praxisnah werden dabei die Komponenten und die dazugehörigen Verfahrensschritte dargestellt.
Voraussetzungen
Kenntnisse der Elektrotechnik, Grundkenntnisse Fertigungstechnikik
Hinweis
Die Veranstaltung findet im
Zentrum für Angewandte Quantentechnologie
Seminarraum 1.204
Allmandring 13
70569 Stuttgart
statt.
Seit über 65 Jahren gehört die Technische Akademie Esslingen (TAE) mit Sitz in Ostfildern – nahe der Landeshauptstadt Stuttgart – zu Deutschlands größten Weiterbildungs-Anbietern für berufliche und berufsvorbereitende Qualifizierung im technischen Umfeld. Unser Ziel ist Ihr Erfolg. Egal ob Seminar, Zertifikatslehrgang oder Fachtagung, unsere Veranstaltungen sind stets abgestimmt auf die Bedürfnisse von Ingenieuren sowie Fach- und Führungskräften aus technisch geprägten Unternehmen. Dabei können Sie sich stets zu 100 Prozent auf die Qualität unserer Angebote verlassen. Warum das so ist?

Mittwoch, 8. bis Freitag, 10. Oktober 2025
9.00 bis 12.15 und 13.30 bis 17.00 Uhr
1. Faszination Mikroelektronik (J. Anders)
- Begrüßung und Vorstellung IMS
- Mikroelektronik als Enabling Technology
2. Vom System zur Siliziumstruktur - Entwicklungsprozess und Designentscheidungen beim Entwurf integrierter Schaltungen/Systeme (C. Burwick)
- Systementwurf
- Grundlagen des MOS-Transistors
- IC-Designablauf
3. Reinraum und Wafer (M. Zimmermann)
- Reinraumbetrieb
- Medienversorgung
- Waferherstellung
- Wafergrößen
A. Technologieführung
4. Schichtabscheidung (M. Zimmermann)
- Dotierprozesse
- Heißprozesse
- Plasmaprozesse
- ALD
5. Lithografie (H. Sailer)
- Grundlagen
- Lithografieverfahren
- Entwicklungstendenzen
6. Ätzprozesse (S. Naasz)
- Nasschemisches Ätzen
- Plasmaätzen
- Planarisieren
7. Anwendungen und Bauelemente (M. Kaschel / K. Edelmann)
- Leistungshalbleiter
- Bauteile für hohe Spannungen
- Technologieübersicht
- Integrierte Photonik
- Einführung in die integrierte Photonik
- Chips für die optisch-elektrische Schnittstelle in Datenzentren
- Neue Anwendungen im Bereich der Quanten
8. Qualität, Prozesskontrollen und Test (M. Schneider / C. Burwick)
- Qualitätsmanagement und Qualitätssicherung
- Testen integrierter Schaltungen
- Zielsetzung und Teststrategie
- Testbarkeit und Design-for-Testability
9. Aufbau- und Verbindungstechnik (A. Berndt /M. Warber)
- Prozessschritte der Chipmontage
- Prüf- und Analyseverfahren, Zuverlässigkeit
- Gehäuse (Typen, Entwicklung)
- AVT Trends (High Density AVT, FlexPacFAM, HySF)
B. Zertifikatsklausur
Elektronik-Entwickler, Projektleiter, Service-, Entwicklungsingenieure im Bereich Halbleiterfertigungsgeräte/-materialien

Die Teilnahme beinhaltet Verpflegung sowie ausführliche Unterlagen.
Preis:
Die Teilnahmegebühr beträgt:
1.620,00 €
(MwSt.-frei)
Fördermöglichkeiten:
Für den aktuellen Veranstaltungstermin steht Ihnen die ESF-Fachkursförderung mit bis zu 70 % Zuschuss zu Ihrer Teilnahmegebühr zur Verfügung (solange das Fördervolumen noch nicht ausgeschöpft ist).
Für alle weiteren Termine erkundigen Sie sich bitte vorab bei unserer Anmeldung.
Weitere Bundesland-spezifische Fördermöglichkeiten finden Sie hier.
Inhouse Durchführung:
Sie möchten diese Veranstaltung firmenintern bei Ihnen vor Ort durchführen? Dann fragen Sie jetzt ein individuelles Inhouse-Training an.
Ihr Ansprechpartner für die Veranstaltung

Das Seminar war sehr gut strukturiert und hat für eine Einführung in die Halbleiter-Herstellung sehr gute Grundlagen gelegt. Gute Vorträge mit Praxisbezügen.
Die praxisorientierte Inhalte und der Austausch zwischen Fachexperten, Industriepartnern und Studenten.
Die Schulung war sehr gut organisiert und die Inhalte entsprachen meinen Erwartungen. Die Trainer haben die Themen immer gut erklärt und waren für alle Fragen und Diskussionen offen.